Vũ Ngọc Hùng (2016). Công nghệ vi hệ thống cơ điện tử. Nhà xuất bản Bách Khoa Hà nội;
Nadim Maluf, Kirt Williams (2004). An introduction to Microelectromechanical system Engineering. Artech House, Inc;
Nếu khách truy cập của bạn vẫn còn thắc mắc, hãy cung cấp cho họ thông tin liên hệ hoặc một nguồn tài nguyên khác để tìm nguồn trợ giúp thêm.
Diễn đàn trợ giúp